Plaquette à bord biseauté

Plaquette à bord biseauté

Une tranche de silicium est une tranche fine et plate de silicium-de haute pureté, qui sert de substrat fondamental et d'élément de base pour la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs, de circuits intégrés (CI) et de divers composants électroniques. En tant que l'un des matériaux les plus essentiels de l'industrie électronique moderne, les plaquettes de silicium sont produites selon une série de processus complexes et précis pour garantir une ultra-pureté élevée, une épaisseur uniforme et une excellente qualité de surface-, autant d'éléments essentiels aux performances et à la fiabilité des produits électroniques finaux.

Les plaquettes de silicium sont classées selon plusieurs paramètres clés, notamment le diamètre, l'épaisseur, l'orientation des cristaux et la pureté. Les diamètres les plus courants vont de 100 mm (4 pouces) à 300 mm (12 pouces), les tranches plus grandes (telles que les tranches de 300 mm et les nouvelles tranches de 450 mm) étant préférées dans la fabrication moderne de semi-conducteurs en raison de leur capacité à produire plus de puces par tranche, réduisant ainsi les coûts de production. L'épaisseur varie en fonction de l'application, allant généralement de dizaines à centaines de micromètres, pour équilibrer la stabilité mécanique et la faisabilité du traitement.

Le processus de production de tranches de silicium implique plusieurs étapes rigoureuses, à commencer par la purification du silicium brut (conversion du silicium de qualité métallurgique-en silicium de qualité électronique-avec une pureté de 99,9999999 % ou plus), suivie par la croissance cristalline (en utilisant le plus souvent la méthode Czochralski pour produire des lingots de silicium monocristallin ou la méthode de coulée pour les lingots de silicium polycristallin). Les lingots sont ensuite découpés en tranches minces, polis pour obtenir une surface semblable à un miroir- et nettoyés pour éliminer tout défaut de surface ou contaminant avant d'être utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs.

En raison de leurs propriétés uniques, les plaquettes de silicium sont largement utilisées dans un large éventail d’applications au-delà des semi-conducteurs traditionnels. Ils constituent le composant central des cellules photovoltaïques (PV), convertissant la lumière du soleil en énergie électrique ; la clé des dispositifs micro-électro-systèmes mécaniques (MEMS), tels que les capteurs et les actionneurs ; et essentiel pour les dispositifs optoélectroniques, l'électronique de puissance et l'électronique automobile. Avec le développement rapide de la 5G, de l'intelligence artificielle, de l'Internet des objets et des véhicules électriques, la demande de plaquettes de silicium de haute-qualité continue de croître, entraînant des progrès dans la technologie de fabrication de plaquettes.

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