Substrat Sic

Substrat Sic

Les substrats en carbure de silicium (SiC) deviennent de plus en plus importants dans divers domaines, notamment dans l'électronique de puissance en raison de leurs propriétés supérieures. Le SiC, un semi-conducteur à large bande interdite, offre de nombreux avantages par rapport au silicium traditionnel, notamment une efficacité énergétique supérieure, une plus grande résistance à la température et une fiabilité améliorée. Ces attributs font des substrats SiC un composant clé dans le développement de systèmes technologiques avancés. Le carbure de silicium, souvent abrégé en SiC, est un composé de silicium et de carbone. En tant que substrat, il sert de base sur laquelle les dispositifs ou les circuits sont formés. Les substrats SiC constituent la plate-forme idéale pour les dispositifs de puissance en raison de leurs propriétés physiques et électroniques uniques.

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Présentation du produit

Profil de l'entreprise

 

 

Fondée en 2009, Zhonggui Semiconductor est devenue, à partir de ses racines dans la société Zhongding Semiconductor de Yangzhou, un leader dans le secteur des semi-conducteurs. Tirant parti de l'innovation technique de l'Institut Nanos de l'Académie chinoise des sciences, nous nous spécialisons dans la production et le développement technologique de plaquettes de silicium semi-conductrices. Notre dévouement a permis de former une équipe technique distinguée, assurant notre position de leader du secteur.

 

Pourquoi nous choisir

Equipement de production

Nous exploitons une salle blanche de classe 100, équipée de machines à trancher, de rectifieuses, de chanfreineuses, de polisseuses chimiques et mécaniques, de machines de découpe, etc. Nous nous engageons à fournir à nos clients des services professionnels et personnalisés.

Equipe professionelle

Nous avons une portée mondiale et nos produits sont vendus dans de nombreux pays, notamment aux États-Unis, en Russie, au Royaume-Uni, en France, etc. Nous nous engageons à collaborer avec nos clients pour favoriser le développement mutuel et parvenir à des partenariats gagnant-gagnant.

Certificat

Avec des équipements de pointe et un solide système de gestion de la qualité ISO 9001, nous garantissons des solutions sur mesure de haute qualité pour nos clients.

Notre usine

Située dans la zone industrielle de Tianshan Town à Yangzhou, Silicore Technologies Ltd. est une usine à source directe axée sur la fourniture de produits personnalisés à base de silicium.

 

Silicon Carbide Wafer

Plaquette de carbure de silicium

Le carbure de silicium (SiC), avec sa nature robuste et sa large gamme d'applications, a un impact significatif sur diverses industries grâce à ses propriétés exceptionnelles.

4H Sic Wafer

Plaquette de silicium 4H

Le carbure de silicium (SiC), avec sa nature robuste et sa large gamme d'applications, a un impact significatif sur diverses industries grâce à ses propriétés exceptionnelles.

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Plaquette de silicium 6H

Le polytype 6H se distingue par ses propriétés mécaniques robustes et est souvent utilisé lorsque la durabilité est primordiale.

Sic Substrate

Substrat Sic

Les substrats en carbure de silicium (SiC) sont fabriqués à partir d'un matériau très pur qui combine silicium et carbone. Le processus de production commence par une technique à haute température appelée transport physique de vapeur (PVT).

 

Qu'est-ce que le substrat Sic ?
 

Les substrats en carbure de silicium (SiC) deviennent de plus en plus importants dans divers domaines, notamment dans l'électronique de puissance en raison de leurs propriétés supérieures. Le SiC, un semi-conducteur à large bande interdite, offre de nombreux avantages par rapport au silicium traditionnel, notamment une efficacité énergétique supérieure, une plus grande résistance à la température et une fiabilité améliorée. Ces attributs font des substrats SiC un composant clé dans le développement de systèmes technologiques avancés.
Le carbure de silicium, souvent abrégé en SiC, est un composé de silicium et de carbone. En tant que substrat, il sert de base sur laquelle sont formés des dispositifs ou des circuits. Les substrats SiC constituent la plate-forme idéale pour les dispositifs de puissance en raison de leurs propriétés physiques et électroniques uniques.

 

Avantages du substrat Sic
 

Conductivité thermique élevée
Le SiC présente une conductivité thermique 3-5 fois supérieure à celle des substrats en silicium (Si). Cela permet une dissipation thermique plus rapide et contribue à maintenir la température de l'appareil à un niveau bas.

 

Tension de claquage élevée
Les substrats SiC ont une tension de claquage élevée, ce qui leur permet de résister à des champs électriques élevés. Cela permet de développer des dispositifs capables de fonctionner à des tensions et des courants élevés, ce qui les rend idéaux pour les applications à haute puissance.

 

Mobilité électronique élevée
Le SiC présente une mobilité électronique supérieure à celle du Si, ce qui permet de développer des dispositifs pouvant fonctionner à des fréquences plus élevées. Ceci est important dans des applications telles que les amplificateurs RF et les circuits de commutation haute fréquence.

 

Large bande interdite
Le SiC présente une large bande interdite, ce qui permet de développer des dispositifs pouvant fonctionner à des températures plus élevées. Cela est important dans les applications à haute température telles que l'électronique de puissance et l'aérospatiale.

 

Pertes de puissance réduites
Les substrats SiC présentent une résistance à l'état passant et des pertes de commutation inférieures à celles des substrats Si. Cela permet de réduire les pertes de puissance et d'améliorer l'efficacité des appareils électroniques de haute puissance.

 

Type de substrat Sic

Substrat céramique en nitrure d'aluminium
Système hexagonal, composé de wurtzite à liaison covalente basé sur l'unité structurelle tétraédrique [AlN4], présente une bonne conductivité thermique, une isolation électrique fiable, une faible constante diélectrique et une faible perte diélectrique, est non toxique et correspond au coefficient de dilatation thermique du silicium, etc. Avec une série d'excellentes propriétés, il est considéré comme un choix idéal pour une nouvelle génération de substrats semi-conducteurs hautement intégrés et de matériaux d'emballage électronique.
Le processus de préparation de la poudre d'AlN, la matière première de base de la céramique AlN, est complexe, consomme beaucoup d'énergie, a un cycle long et est coûteux. Le coût élevé limite la large application de la céramique AlN, de sorte que les substrats en céramique AlN sont principalement utilisés dans les industries haut de gamme.
Substrat en céramique de nitrure de silicium
Le Si3N4 possède trois structures cristallines, à savoir phase, phase et phase. Parmi elles, phase et phase sont les formes les plus courantes de Si3N4, et elles sont toutes des structures hexagonales. Le Si3N4 possède d'excellentes propriétés telles qu'une dureté élevée, une résistance élevée, un faible coefficient de dilatation thermique, un faible fluage à haute température, une bonne résistance à l'oxydation, de bonnes performances de corrosion à chaud et un faible coefficient de frottement.
Cependant, la céramique Si3N4 présente de mauvaises propriétés diélectriques (la constante diélectrique est de 8,3, la perte diélectrique est de 0.001~0,1) et un coût de production élevé, ce qui limite son application comme substrat céramique d'emballage électronique.

Substrat céramique en carbure de silicium
Les céramiques SiC ont une conductivité thermique élevée. La conductivité thermique à haute température est de 100 W/(m·k) à 400 W/(m·k), soit 13 fois celle de l'Al2O3. Elles ont une bonne résistance à l'oxydation, leur température de décomposition est supérieure à 2 500 degrés et elles peuvent toujours être utilisées dans une atmosphère oxydante de 1 600 degrés. Elles ont également une bonne isolation électrique et leur coefficient de dilatation thermique est inférieur à celui de l'Al2O3 et de l'AlN. Les céramiques SiC ont de fortes propriétés de liaison covalente et ne sont pas faciles à fritter. De petites quantités de bore ou d'alumine sont souvent ajoutées comme auxiliaires de frittage pour augmenter la densité. Les expériences montrent que le béryllium, le bore, l'aluminium et leurs composés sont les additifs les plus efficaces, qui peuvent faire atteindre à la densité des céramiques SiC plus de 98 %.

Substrat en céramique à base d'oxyde de béryllium
BeO est la seule structure wurtzite hexagonale parmi les oxydes de métaux alcalino-terreux. Étant donné que BeO a une structure wurtzite et une forte liaison covalente et une faible masse moléculaire relative, il a une conductivité thermique élevée. L'alumine BeO est d'environ Sa conductivité thermique à température ambiante peut atteindre 250 W/(m·K), et sa conductivité thermique est 10 fois supérieure à celle du métal. À haute température et haute fréquence, il a de bonnes propriétés électriques, une bonne résistance à la chaleur et une bonne résistance aux chocs. , bonne stabilité chimique.
Bien que le BeO présente d'excellentes propriétés, son inconvénient majeur est que sa poudre est extrêmement toxique. L'inhalation à long terme de poussière de BeO peut provoquer un empoisonnement, voire mettre la vie en danger, et peut également provoquer une pollution de l'environnement, ce qui a un impact important sur la production et l'application des substrats en céramique BeO [5]. De plus, le coût de production du BeO est relativement élevé, ce qui limite sa production et son application.

Substrat en céramique au nitrure de bore
Le nitrure de bore se présente sous deux formes cristallines différentes : hexagonale et cubique. Parmi elles, le nitrure de bore cubique a une dureté élevée et peut résister à des températures élevées de 1500 à 1600 degrés, ce qui le rend adapté aux matériaux ultra-durs. Dans des conditions de traitement thermique appropriées, le nitrure de bore hexagonal peut maintenir une stabilité chimique et mécanique élevée à des températures très élevées. Le matériau en nitrure de bore présente une stabilité thermique, une stabilité chimique et une isolation électrique élevées. La conductivité thermique des céramiques en nitrure de bore à température ambiante est équivalente à celle de l'acier inoxydable et ses propriétés diélectriques sont bonnes. Le nitrure de bore est plus cassant que la plupart des céramiques, a un faible coefficient de dilatation thermique, une forte résistance aux chocs thermiques et peut résister à des changements rapides de différences de température supérieures à 1500 degrés.

 

Applications du substrat Sic
碳化硅晶圆
6H Sic Wafer
4H碳化硅片
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Le substrat Sic, en tant que représentant typique de la troisième génération de matériaux semi-conducteurs, est également l'un des matériaux semi-conducteurs à large bande interdite les plus matures et les plus largement utilisés à l'heure actuelle. Grâce à ses excellentes propriétés semi-conductrices, les matériaux céramiques Sic Substrate ont été largement utilisés dans divers domaines. Il joue un rôle innovant important dans l'industrie moderne. C'est un matériau semi-conducteur extrêmement idéal dans les applications à haute température, haute fréquence, résistantes aux radiations et à haute puissance. Siton était parfaitement conscient de ces opportunités de marché et a lancé des substrats d'emballage en carbure de silicium, qui ont été largement salués par les clients. Étant donné que les dispositifs d'alimentation en carbure de silicium peuvent réduire considérablement la consommation d'énergie des équipements électroniques, les dispositifs en carbure de silicium sont également connus sous le nom de « dispositifs à énergie verte » qui stimulent la « nouvelle révolution énergétique ».

Différents systèmes moteurs
Dans le domaine des applications haute tension, les dispositifs de puissance semi-conducteurs en carbure de silicium utilisant des substrats en céramique en carbure de silicium présentent une réduction significative de la consommation d'énergie. La génération de chaleur de l'équipement est considérablement réduite et les pertes de commutation peuvent être réduites jusqu'à 92 %. Cela peut également simplifier davantage le mécanisme de refroidissement de l'équipement. La miniaturisation de l'équipement réduit considérablement la consommation de matériaux métalliques pour la dissipation de la chaleur.

Champ d'éclairage LED à semi-conducteurs
Le substrat Sic présente de grands avantages dans les LED haute puissance. Les LED utilisant des substrats en céramique Sic Substrate ont une luminosité plus élevée, une consommation d'énergie plus faible, une durée de vie plus longue et une surface de puce unitaire plus petite.

Véhicules à énergie nouvelle
L'industrie automobile à énergie nouvelle exige que les onduleurs aient une fiabilité qui dépasse de loin celle des onduleurs industriels ordinaires lors de la gestion de courants de haute intensité ; le substrat SiC Sic présente une meilleure dissipation de la chaleur, un rendement élevé, une résistance à haute température et une fiabilité élevée. ) Le substrat céramique répond pleinement aux exigences des véhicules à énergie nouvelle. La miniaturisation des substrats céramiques Sic Substrate peut réduire considérablement la perte de puissance des véhicules à énergie nouvelle, leur permettant de continuer à fonctionner normalement dans divers environnements difficiles.

 

Procédés de traitement de surface couramment utilisés pour les substrats en aluminium SiC

 

 

Les substrats en carbure de silicium présentent d'excellentes propriétés telles qu'une résistance spécifique élevée, une rigidité spécifique, une résistance à l'usure et un faible coefficient de dilatation thermique, et ont d'importantes perspectives d'application dans l'aérospatiale, les moteurs automobiles, les instruments de précision, les emballages électroniques, les équipements sportifs, etc. Cependant, le carbure de silicium aluminium est un matériau difficile à traiter et difficile à produire en masse, ce qui limite considérablement son champ d'application. Cela est principalement dû au fait que le traitement du carbure de silicium aluminium endommage gravement l'outil. S'il n'existe pas de technologie de traitement appropriée, le coût de l'outil augmentera considérablement.

Français En raison de l'existence d'une phase particulaire dans les matériaux composites en carbure de silicium et aluminium, les défauts métallurgiques non uniformes du matériau sont augmentés, ce qui rend la résistance à la corrosion du matériau dans les milieux corrosifs pire que celle de l'alliage de matrice sans phase de renforcement, car la phase de renforcement elle-même peut agir comme un centre actif de corrosion et peut modifier le processus cinétique de changement de phase de la matrice, formant une phase précipitée qui peut facilement provoquer une corrosion à l'interface entre la matrice et la phase renforcée. Les contraintes résiduelles d'interface et les dislocations à haute densité peuvent également facilement provoquer une corrosion par piqûres. Un traitement de surface efficace des composites en carbure de silicium et aluminium peut protéger le matériau des dommages dus à la corrosion, à l'usure et à l'oxydation à haute température. Actuellement, les méthodes de traitement de surface du carbure de silicium et aluminium comprennent l'oxydation par micro-arc, l'anodisation, la passivation chimique, le revêtement organique et le nickelage autocatalytique.

 

 

Substrat Sic artisanal

Broyage des matières premières :Utilisez un concasseur à marteaux pour écraser le coke de pétrole jusqu’à la taille de particules requise par le processus.
Dosage et mélange :Peser et mélanger selon la formule prescrite. Ce projet utilise une plateforme pour le dosage et une bétonnière pour le mélange.
Préparation du four électrique au carbure de silicium :Nettoyer le matériau du fond du four, tailler les électrodes, nettoyer et réparer les parois du four, installer l'alimentation et le premier engrenage, vérifier et éliminer les autres défauts du four.
Chargement du four :Remplissez le four avec des matériaux de réaction, des matériaux isolants et des matériaux de noyau de four selon les types, emplacements et tailles spécifiés des matériaux du four, et construisez des parois latérales du four de fusion qui ont les fonctions d'isolation et de maintien des matériaux.
Envoyer de l'énergie pour fondre du carbure de silicium :Connectez le four électrique au carbure de silicium au transformateur, puis envoyez le courant. Une flamme nue est utilisée pendant les 15 premières minutes pour enflammer le CO. Le processus de fusion dure 170 heures. Ce qui précède est le processus général de production du carbure de silicium. Le processus de production spécifique peut varier en fonction du fabricant et des exigences du produit.

Sic Substrate

 

La différence entre le substrat en carbure de silicium et le substrat en nitrure de silicium

 

Les substrats en carbure de silicium à base d'aluminium sont utilisés dans les véhicules ferroviaires, les avions, les dispositifs IGBT à semi-conducteurs et d'autres domaines de produits, principalement parce que les substrats en carbure de silicium à base d'aluminium ont une conductivité thermique élevée, un coefficient de dilatation thermique qui correspond mieux à la puce, un poids léger, une faible densité, une dureté élevée et une résistance élevée à la flexion.

Caractéristiques et avantages des substrats en carbure de silicium et des substrats en nitrure de silicium
Le substrat en carbure de silicium, le carbure de silicium-aluminium (AISiC), est l'abréviation de matériau composite renforcé de particules de carbure de silicium, également connu sous le nom de carbure de silicium-aluminium ou de carbone de silicium-aluminium. Il présente des avantages très importants et remarquables lorsqu'il est appliqué à l'industrie militaire.
● L'AISiC présente une conductivité thermique élevée (170~200 W/mK), soit dix fois celle des matériaux d'emballage classiques. Il peut dissiper rapidement la chaleur générée par la puce et améliorer la fiabilité et la stabilité de l'ensemble du composant.
●Le coefficient de dilatation thermique de l'AISiC est bien adapté à la puce semi-conductrice et au substrat en céramique. Le coefficient de dilatation thermique réglable (6,5~9,5x10-6/K) peut empêcher la défaillance par fatigue, et la puce d'alimentation peut même être installée directement sur la plaque de base AISiC.
● Le substrat en carbure de silicium est léger, solide, résistant à la flexion et aux tremblements de terre. C'est le matériau de choix dans les environnements difficiles.

Les applications des substrats en carbure de silicium et des substrats en nitrure de silicium sont différentes
Les substrats en céramique au nitrure de silicium ont une résistance mécanique élevée, une résistance à l'usure et une bonne conductivité thermique. Ils sont principalement utilisés dans l'aérospatiale, les moteurs automobiles, les amortisseurs automobiles, les équipements médicaux mécaniques, les fours industriels, les équipements électroniques intelligents, les modules haute puissance et d'autres domaines. Objectif ; Le carbure de silicium est utilisé dans les locomotives ferroviaires, les avions, les dispositifs IGBT à semi-conducteurs et d'autres domaines de produits, et il a également de bonnes applications dans l'industrie militaire.

 

Notre usine

 

Notre spécialisation dans les plaquettes de silicium, les cristaux de germination, les cibles de silicium et les espaceurs sur mesure nous permet de répondre à divers besoins dans les secteurs des semi-conducteurs et de l'énergie solaire. Notre engagement à fournir des services personnalisés permet à nos clients d'atteindre leurs objectifs de projet spécifiques avec précision et efficacité.

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FAQ

 

Q : Quels sont les avantages de l’utilisation de substrats SiC par rapport aux substrats en silicium pour les applications de semi-conducteurs ?

R : Les substrats SiC offrent plusieurs avantages par rapport aux substrats en silicium traditionnels, notamment une conductivité thermique plus élevée, une bande interdite plus large et une tension de claquage plus élevée. Ces propriétés permettent le développement de dispositifs capables de fonctionner à des températures, des tensions et des fréquences plus élevées, ce qui est particulièrement avantageux pour l'électronique de puissance, l'électronique haute température et les applications RF/micro-ondes.

Q : Comment sont fabriqués les substrats SiC ?

R : Les substrats SiC sont généralement développés à l'aide de la méthode de transport physique de vapeur (PVT). Dans ce processus, une matière première SiC de haute pureté est placée dans un creuset et chauffée à des températures élevées dans des conditions atmosphériques contrôlées. La vapeur de SiC est transportée des régions les plus chaudes du creuset vers les régions les plus froides, où elle cristallise sur un cristal germe pour former le substrat.

Q : Quelle est l’orientation cristalline typique des substrats SiC ?

R : Les orientations cristallines les plus courantes pour les substrats SiC sont (001) et (0001), appelées polytypes 4H et 6H. Ces orientations sont préférées car elles offrent une bonne stabilité structurelle et sont compatibles avec la majorité des procédés de fabrication de dispositifs SiC.

Q : Comment sont caractérisés les substrats SiC ?

R : Les substrats SiC sont caractérisés par diverses propriétés physiques et structurelles, notamment la qualité cristallographique, la densité des défauts, la conductivité électrique, la conductivité thermique et la rugosité de surface. Des techniques telles que la diffraction des rayons X (DRX), la microscopie électronique à transmission (MET) et la spectroscopie de photoluminescence (PL) sont couramment utilisées pour la caractérisation.

Q : Quel est l’impact de la qualité du substrat sur les performances des dispositifs SiC ?

R : La qualité du substrat SiC a un impact significatif sur les performances des dispositifs SiC. Un substrat de haute qualité avec une faible densité de défauts peut donner lieu à des dispositifs aux propriétés électriques améliorées, à une efficacité plus élevée et à une durée de vie plus longue. Inversement, les substrats avec une densité de défauts élevée peuvent entraîner une réduction des performances et de la fiabilité des dispositifs.

Q : Qu'est-ce qu'un matériau SiC ?

R : Le carbure de silicium (SiC) est une céramique fine synthétique semi-conductrice qui excelle dans un large éventail de marchés industriels. Les fabricants bénéficient d'une offre éclectique de nuances de carbure de silicium en raison de la disponibilité de structures à haute densité et à pores ouverts.

Q : Qu'est-ce que le SiC en chimie ?

R : Le carbure de silicium (SiC), également connu sous le nom de carborundum (/ˌkɑːrbəˈrʌndəm/), est un composé chimique dur contenant du silicium et du carbone. Semi-conducteur, il se trouve dans la nature sous la forme d'un minéral extrêmement rare, la moissanite, mais il est produit en masse sous forme de poudre et de cristal depuis 1893 pour être utilisé comme abrasif.

Q : Que signifie SiC dans les semi-conducteurs ?

R : Le SiC (carbure de silicium) est un semi-conducteur composé de silicium et de carbure. Le SiC offre de nombreux avantages par rapport au silicium, notamment une intensité de champ électrique de claquage 10 fois supérieure, une bande interdite 3 fois supérieure et une plage plus large de contrôle de type p et n requise pour la construction de l'appareil.

Q : Comment sont fabriqués les substrats SiC ?

R : Actuellement, la production industrielle de substrats en carbure de silicium repose principalement sur la méthode PVT. Cette méthode nécessite de sublimer la poudre à haute température et sous vide, puis de laisser les composants se développer sur la surface de la graine grâce au contrôle du champ thermique, afin d'obtenir les cristaux de carbure de silicium.

Q : Comment appelle-t-on également le SiC ?

R : Le carbure de silicium, également connu sous le nom de Carborundum, est un composé de silicium et de carbone. Le carbure de silicium est un matériau semi-conducteur qui est un matériau émergent pour les applications dans les dispositifs semi-conducteurs. Le carbure de silicium a été découvert par le Pennsylvanien Edward Acheson en 1891.

Q : Quelle est la différence entre SiO2 et SiC ?

R : Contrairement aux revêtements à base de SiO2, le revêtement à base de SiC se lie réellement à la peinture et le SiC se forme par une réaction chimique au cours de ce processus, et non en ayant des nanoparticules de céramique flottant dans une résine.

Q : Le SiC est-il conducteur d’électricité ?

R : De sa dureté remarquable et de sa résistance à l’usure à son rôle de semi-conducteur et de conducteur électrique, le carbure de silicium continue de façonner les avancées en matière d’efficacité et de fiabilité.

Q : Quels sont les types de SIC ?

R : Bien qu'il existe plus de 100 polytypes connus de SiC, seuls quelques-uns sont couramment cultivés sous une forme reproductible et acceptable pour une utilisation en tant que semi-conducteurs. Les polytypes de SiC les plus courants développés pour l'électronique sont le 3C-SiC, le 4H-SiC et le 6H-SiC.

Q : Pourquoi le carbure de silicium est-il si important ?

R : Un matériau à large bande interdite (WBG) peut déplacer l'énergie électrique plus efficacement que les semi-conducteurs à bande interdite plus petite. Cela rend le carbure de silicium particulièrement utile pour l'électronique de puissance comme les onduleurs de traction dans les véhicules électriques et les convertisseurs DC/DC pour les chargeurs de véhicules électriques et les climatiseurs (Zeeburg).

Q : Où trouve-t-on du carbure de silicium ?

R : Le carbure de silicium est le seul carbure qui trouve des applications majeures comme matériau céramique. On le trouve dans la nature uniquement en petites quantités dans les météorites où il est appelé moissanite (du nom de son découvreur Moissan).

Q : Le SiC est-il résistant à la corrosion ?

R : Le carbure de silicium fritté sans pression est presque universellement résistant à la corrosion. Il résiste à tous les acides courants (par exemple, l'acide chlorhydrique, l'acide sulfurique, l'acide bromhydrique et l'acide fluorhydrique), aux bases (par exemple, les amines, la potasse et la soude caustique), à ​​tous les solvants et aux milieux oxydants (par exemple, l'acide nitrique).

Q : Le SiO2 est-il bon ou mauvais ?

R : Le dioxyde de silicium est un composé naturel. Il est présent en abondance dans les plantes et dans la croûte terrestre, et il est même présent dans les êtres humains et d'autres animaux. Il n'existe toujours aucune preuve suggérant que le dioxyde de silicium soit dangereux en tant qu'additif alimentaire. Cependant, l'inhalation régulière de poussière de silicium est très dangereuse.

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